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產品詳情

  • 產品名稱：BROOKS 布魯克斯 質量流量控制器

  • 產品型號：GF120
  • 產品廠商：BROOKS 布魯克斯
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
速度增強的 EtherCAT?
詳情介紹：

*快、***的質量流量控制器

半導體工藝的*佳性能

  • 具有嵌入式實時診斷功能的 EtherCAT® 數據采集
  • 超穩定的流量傳感器（每年≤設定值的 0.15%）可提高低設定值的精度并減少維護要求
  • 改進了閥門關閉（料倉范圍的 ≤0.15%）并減少了閥門泄漏，從而減少了**晶圓效應
  • 新增強的壓力波動容限 （PTI） 可降低串擾靈敏度，并確保一致的質量流量輸送

特征

  • 長期零點穩定性，±小于0.15%F.S./年
  • 響應時間：300 ms 至 1 秒以內
  • 滿量程流量高達 300 slpm
  • 所有氣體接觸部件均為金屬：*高 0.125 μm 或 0.25 μm Ra 表面光潔度可選
  • 高度耐腐蝕的哈氏合金 T-Rise 傳感器可提高高溫下的溫度可重復性
  • MultiFloTM 氣體，范圍可變性：可以在一個設備中配置數千種不同的氣體和流速，而無需從氣體管路中移除 MFC，也不會影響精度
  • 易于使用的用戶顯示屏和獨立的診斷/服務端口有助于設備安裝、監控和故障排除
  • GF120 **輸送系統 （SDS®） 是 Brooks 技術*高的低壓降質量流量控制器，用于植入和蝕刻工藝中使用的亞大氣壓 SDS 氣體輸送。

優勢

  • 非常好的性能
    • 由于反應時間短，提高了應用效率
  • 靈活的連接配置
    • 幾乎無限的網絡連接
  • 簡單而堅固
    • 配置、診斷和維護
  • 可負擔性
    • 標準以太網端口

用途

  • 半導體蝕刻設備
  • CVD、MOCVD、PECVD、ALD設備
  • PVD設備
  • 外延制程設備

規格

GF100 GF101 GF120 GF120 GF120XSD GF120XSL GF121 GF125 GF126
差異化優勢

高純度

高純度

高流速

超高純度

超快響應時間

*高流量范圍

久經考驗的可靠技術

SDS氣體輸送

SDS氣體輸送

超高純度

高流速

超高純度

超快響應

壓力瞬態不敏感

高流速

流量范圍（滿量程容量） 3 SCCM - 55 SLM

55 SLM - 300 SLM

3 SCCM - 55 SLM 3 SCCM - 55 SLM >25 SCCM - 1 SLM 4 - 25 SCCM

55 SLM - 300 SLM

3 SCCM - 55 SLM

55 SLM - 300 SLM

表面光潔度 10μ 英寸 Ra 10μ 英寸 Ra

5μ 英寸 Ra

4μ 英寸 Ra

5μ 英寸 Ra

5μ 英寸 Ra

5μ 英寸 Ra

5μ 英寸 Ra

5μ 英寸 Ra

精度

±1% 標準> 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% 標準價 > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% 標準> 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% 標準價 > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% 標準價 > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% 標準價 > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% 標準價 > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% 標準> 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% 標準價 > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

再現性 < ±0.15% 標準股 < ±0.15% 標準股 < ±0.15% 標準股 < ±0.15% 標準股

< ±0.15% 標準股

< ±0.15% 標準股

< ±0.15% 標準股 < ±0.15% 標準股 < ±0.15% 標準股
響應時間

常閉

<1 秒

常閉

<1 秒

常閉

700 毫秒

常閉

700 毫秒

常閉

<3 秒

常閉

<3 秒

常閉

<1 秒

常閉

300 毫秒 - <700 毫秒

 

常閉

<1 秒

 

響應時間 - 否

常開

<1.5 秒

常開

—

常開

<1.5 秒

常開

<1.5 秒

常開

—

常開

—

常開

—

常開

<1.5 秒

常開

—

多氣體多量程 MultiFlo? 標準版 MultiFlo? 標準版 MultiFlo? 標準版 MultiFlo? 標準版 — — MultiFlo? 標準版 MultiFlo? 標準版 MultiFlo? 標準版
供氣壓力波動容限/背壓波動容限（穩定） — — — — — — —

±5% S.P. 高達 5 psi/sec 上游壓力機。 穗

能夠測量入口壓力

診斷能力

狀態指示燈和警報

狀態指示燈和警報

狀態指示燈和警報

狀態指示燈：MFC 運行狀況和網絡狀態

警報：控制閥輸出和網絡中斷

狀態指示燈和警報

狀態指示燈和警報

狀態指示燈和警報

狀態指示燈和警報

狀態指示燈和警報

數字通信

EtherCAT以太網CAT

EtherCAT以太網CAT

EtherCAT以太網CAT

RS485 L協議

設備網絡?

 

EtherCAT以太網CAT

EtherCAT以太網CAT

EtherCAT以太網CAT

EtherCAT以太網CAT

EtherCAT以太網CAT

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