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產品詳情
簡單介紹：
這是一款UV-LED光源，用于在g線和i線光刻膠兼容晶圓周圍曝光。
它可以安裝在新設備中，也可以輕松更換為當前使用的紫外燈光源。
詳情介紹：
| 項目 | 物質 |
|---|---|
| 工作環境溫度 | 5~40°C（無凝結。 ） |
| 電源電壓 | 單相 100~240V |
| 工頻 | 50/60赫茲 |
| 發光峰值波長 | 365±5納米 |
| 光輸出穩定性 | ±5%以內 |
| 初始紫外線強度 | 2000mW/cm2以上（365nm處，距面罩0.5mm） |
| 強度分布的均勻性 | 10%以下（4×5mm區域） |
| 紫外線發光源 | UV-LED燈 |
| 紫外光源壽命 | 20,000 小時（預計壽命：*大驅動電流）* 紫外線強度為初始強度的 50% 或更高時的照明積分時間 |
| 輻照開/關功能 | UV-LED 開/關控制 （通過遙控和手動控制開燈和關燈） |
| 光強調節功能 | UV-LED電流調節光強度調節范圍為20~100% |
| 外墻材料 | 不銹的 |
| 外形尺寸 | 150（W） × 200（D） × 192（H） 毫米 |
輻照分布
外圖
產品留言
