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產品名稱：JAI分析工業輸出氣體集熱器
產品型號：SW-12400III.DF
產品廠商：JAI分析工業
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簡單介紹：

能夠捕獲硅片8英寸和6英寸表面的揮發性成分（有機污染物）。（SW-8400IIIDF）

詳情介紹：

SW-8400III.DF / SW-12400III.DF 硅片輸出氣體集熱器

特點：
能夠捕獲硅片8英寸和6英寸表面的揮發性成分（有機污染物）。（SW-8400IIIDF）
它可以收集硅片12英寸表面的揮發性成分（有機污染物）。（SW-12400IIIDF）
由于采用捕獲方法，因此沒有死體積，并且可以檢測到痕量成分。
從正面產生的氣體被可靠地收集起來，從背面產生的氣體通過真空泵完全釋放。
晶圓直接加熱，*高溫度為500°C。（烘烤時）
采用時序控制（觸摸屏）。更易于操作。

PAT（10 mL 內部容積，含 Tenax GR 吸附劑）標配除氣。可選地，它還與每個制造商的收集管兼容。
超溫預防裝置、門聯鎖機構、急停開關、漏水傳感器（可選）等**措施已到位。
可選地，可以對樣品管進行多級升溫收集、分體式收集和電子冷卻（在收集時）。

在這種方法中，硅晶圓（SW）的表面覆蓋著頂板，僅收集表面的除氣。
吹掃氣體通過預熱管路后，沿著烤盤（鐘形頂板）的外壁流動，烤盤以鐘形固定在烘箱頂部，從外周引導穿過SW面到中心。
SW的背面由真空泵吸入，因此SW背面產生的氣體可以可靠地排出。

設備規格

SW-8400III.DF
方法	貝爾法
可收集的晶圓尺寸	8 英寸和 6 英寸、5 英寸及以下需要夾具（12 英寸用于 12400III）
烘箱材料	不銹鋼（SUS316L）
烘箱加熱方式	頂板和底板獨立加熱系統
烘箱工作溫度	正常使用：400°C（*高烘烤溫度：500°C）
烤箱冷卻	冷卻水循環器
保溫管	內表面惰性處理
吹掃氣體	通常為氮氣，*大流速 500 mL/min
PAT冷卻(オプション）	電子冷卻
急停開關	紅色，蘑菇形
保障	門聯鎖機構
烤箱開啟和關閉	電機驅動
車身尺寸	1140（寬）×1106（高）×750（深）毫米
權力	單相AC200V，20A/AC200V，30A
質量	280公斤

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京公網安備 11030102010384號

產品名稱：JAI分析工業 輸出氣體集熱器

SW-8400III.DF / SW-12400III.DF 硅片輸出氣體集熱器

設備規格

產品名稱：JAI分析工業輸出氣體集熱器