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簡單介紹：

緊湊經濟，適合研發通過安裝運輸室和 L/UL 室（可選），也可以實現全自動濺射

詳情介紹：

■ 緊湊經濟，適合研發 ■ 通過安裝運輸室和 L/UL 室（可選），也可以實現全自動濺射

電池材料、微機械、防反射膜、阻隔膜、透明導電膜、記錄介質

目的：該裝置的目的是濺射各種材料

真空室（濺射室）	圓柱形，SUS304，內部尺寸ф350 x H270 頂蓋上升旋轉式（空氣液壓驅動）極限壓力：1x ^10-4Pa以下帶百葉窗的窺視孔烘烤加熱器（可選）濺射式（可改為濺射式）
陰極	2“ 磁控管陰極 4 個用于磁性靶材的陰極（可選）遠程操作單個百葉窗（可選：定時器驅動） RFxRF 或 RFxDC（可選）可同時放電
PCB支架	ф280旋轉基板支架 3~30rpm連續旋轉或90o步進給水冷卻（可選：300oC加熱）可反向濺射（RF300W）（可選）
排氣系統	300 L/sec TMP + RP（可選：可改為干泵）通過蝶閥調節電導率（手動）自動運行排氣和干氣泄漏
氣體基	質量流量控制器：2線（可選：可加裝氣體系列）
真空計	寬帶電離真空計 + 皮拉尼真空計
濺射電源	2 x RF300W（可選：可添加直流電源）兩個單元都是自動匹配的
效用	安裝空間：約W2000 x D1000 x H1500冷卻水：3 L/min，0.1~0.15 MPa 電源容量：3ф 200V 5kVA 濺射氣體，泄漏干燥氣體
選擇	請參考以上運輸室、裝卸室等項目。

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產品名稱：DIAVAC日本大亞濺射設備