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產品詳情

  • 產品名稱：DIAVAC日本大亞油擴散泵

  • 產品型號：DPA-18
  • 產品廠商：DIAVAC日本大亞
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
節能泵（內部熱加熱器），與傳統產品相比，功耗降低40%（DPF系列）
詳情介紹：

■節能泵（內部熱加熱器），與傳統產品相比，功耗降低40%（DPF系列） 

■與傳統泵相比，重量減輕至1/2，重量輕巧，結構緊湊。

■ 采用可更換的內部加熱器 

■ 與傳統產品（DPF系列）相比，上升時間縮短至1/2 

■ 結合噴射器作用的射流顯著增加了臨界背壓

■ 大型氣相沉積設備、濺射設備等

■ 用于真空熱處理爐、真空熔煉爐、真空釬焊爐等。
■ 各種真空排氣系統
型 DPA-18型
極限壓力 （Pa）

< 3.0×10-5

額定抽速（L/sec）
無擋板

9000

有效抽速（L/sec），
無擋板 *注1 		8000
有效抽速（L/sec） 百葉窗
擋板 *注1 		4600
回流速率（mg/cm2·min） 進氣
壓力 10-5~10-2 Pa
百葉窗擋板 		×10-5~×10-4
空載臨界背壓 （Pa） *2 59
功率要求 （kW） 3φ 200V 3.5
上升時間（分鐘） 30
需水量 （L/min） 5
重量 （kg），包括擋板 110
離地面總高度 （mm），
包括擋板 		840
標準液壓油容積 （L） Lion S 2.2
進氣法蘭 VG 450型
排氣口法蘭 VG 100型

型 DPA-22型
極限壓力 （Pa）

< 3.0×10-5

額定抽速（L/sec）
無擋板

13000

有效抽速（L/sec），
無擋板 *注1 		12800
有效抽速（L/sec） 百葉窗
擋板 *注1 		6900
回流速率（mg/cm2·min） 進氣
壓力 10-5~10-2 Pa
百葉窗擋板 		×10-5~×10-4
空載臨界背壓 （Pa） *2 65
功率要求 （kW） 3φ 200V 5.4
上升時間（分鐘） 30
需水量 （L/min） 7
重量 （kg），包括擋板 167
離地面總高度 （mm），
包括擋板 		960
標準液壓油容積 （L） Lion S 3.0
進氣法蘭 VG 550型
排氣口法蘭 VG 150型

型 DPA-24R型
極限壓力 （Pa）

< 2.0×10-5

額定抽速（L/sec）
無擋板

16000 *注3

有效抽速（L/sec），
無擋板 *注1 		13200
有效抽速（L/sec） 百葉窗
擋板 *注1 		7900
回流速率（mg/cm2·min） 進氣
壓力 10-5~10-2 Pa
百葉窗擋板 		×10-5~×10-4
空載臨界背壓 （Pa） *2 65
功率要求 （kW） 3φ 200V 6.6
上升時間（分鐘） 30
需水量 （L/min） 10
重量 （kg），包括擋板 210
離地面總高度 （mm），
包括擋板 		1050
標準液壓油容積 （L） Lion S 3.5
進氣法蘭 VG 600型
排氣口法蘭 VG 150型

型 DPA-28R型
極限壓力 （Pa）

< 2.0×10-5

額定抽速（L/sec）
無擋板

20,000 *注3

有效抽速（L/sec），
無擋板 *注1 		17700 *注3
有效抽速（L/sec） 百葉窗
擋板 *注1 		9800
回流速率（mg/cm2·min） 進氣
壓力 10-5~10-2 Pa
百葉窗擋板 		×10-5~×10-4
空載臨界背壓 （Pa） *2 67
功率要求 （kW） 3φ 200V 8.0
上升時間（分鐘） 30
需水量 （L/min） 上回路 3 或更高，下
回路 9 或更多
重量 （kg），包括擋板 250
離地面總高度 （mm），
包括擋板 		1170
標準液壓油容積 （L） Lion S 4.5
進氣法蘭 VG 700系列
排氣口法蘭 VG 200型

型 DPA-36R型
極限壓力 （Pa）

< 2.0×10-5

額定抽速（L/sec）
無擋板

37,000 *注3

有效抽速（L/sec），
無擋板 *注1 		28200 *注3
有效抽速（L/sec） 百葉窗
擋板 *注1 		17,000 *注3
回流速率（mg/cm2·min） 進氣
壓力 10-5~10-2 Pa
百葉窗擋板 		×10-5~×10-4
空載臨界背壓 （Pa） *2 61
功率要求 （kW） 3φ 200V 12.0
上升時間（分鐘） 40
需水量 （L/min） 上回路 5 個以上，下
回路 13 個以上
重量 （kg），包括擋板 440
離地面總高度 （mm），
包括擋板 		1520
標準液壓油容積 （L） Lion S 8.0
進氣法蘭 VG 900系列
排氣口法蘭 VG 200型

*請使用入口側至少 10oC 的冷卻水溫度和出口側的 30oC 或更低的冷卻水溫度。 （無冷凝）
*注1 符合
JIS B 8317-1：1999*注2 符合
JIS B 8317-2：1999**注3對應出口貿易管制令的限制貨物清單

*外觀和規格如有更改，恕不另行通知。

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